電子無塵室管理規(guī)范
目錄
0. 目錄 (Table of content)
1. 大綱(Introduction)
1.1 范圍(Scope)
1.2 目的(Purpose)
2. 引用文件(Reference document)
3. 名詞定義(Definition)
4. 無塵室管理規(guī)范程序
4.1 無塵室潔凈度等級區(qū)分及區(qū)域定義
4.1.1 面板制造
4.1.2 模組制造
4.2 無塵衣/鞋/帽穿著使用規(guī)定
4.2.1 各區(qū)無塵衣穿著規(guī)定
4.2.2 無塵衣?lián)Q洗規(guī)定
4.2.3 無塵衣之破損與縫補(bǔ)
4.2.4 無塵衣識別系統(tǒng)
4.3 無塵室進(jìn)入資格之取得
4.3.1 一般員工
4.3.2 高階主管
4.3.3 來賓(廠商)
4.3.4 無塵室進(jìn)入資格取得之流程
4.4 無塵室進(jìn)入資格之取消
4.5 無塵室資格考試
4.6 無塵室進(jìn)出管制規(guī)定
4.6.1 人員之限制
4.6.2 物品之限制
4.7 進(jìn)入無塵室之程序
4.7.1 人員進(jìn)入無塵室之流程
4.7.2 物品進(jìn)入無塵室之流程
4.7.3 儀器設(shè)備進(jìn)入無塵室之流程
4.8 無塵衣穿著程序
4.8.1 連身式無塵衣穿著程序
4.9 無塵衣穿著步驟
4.9.1 連身式無塵衣穿著步驟
4.10 無塵衣穿著注意事項(xiàng)
4.11 無塵衣穿著檢查要項(xiàng)
4.12 無塵室一般禁止及注意事項(xiàng)
4.13 來賓(廠商)進(jìn)入無塵室注意事項(xiàng)
4.14 無塵室安全注意事項(xiàng)
4.15 無塵室清潔方式
5. 使用窗體(Form used)
6. 變更記錄(Change Record)
1. 大綱(Introduction)
1.1范圍(Scope)
凡進(jìn)入無塵室內(nèi)所有人、機(jī)器設(shè)備、物品、原物料、產(chǎn)品……等，均屬本規(guī)范之管制范圍。
1.2目的(Purpose)
為維持無塵室內(nèi)潔凈度，管制污染源控制環(huán)境參數(shù)，特對于無塵室內(nèi)之人、設(shè)備、物品、原物料等加以管制，以俾能確保無塵室內(nèi)潔凈度符合產(chǎn)品制程之需求，并提高產(chǎn)品之品質(zhì)。
2. 參考文件(Referenced Document)
無
3. 名詞定義(Definition)
本規(guī)范除下列所述名詞外，均依照J(rèn)IS Z 8122(Contamination Control術(shù)語)。
無塵室 Particle被控制在規(guī)定值內(nèi)之房間
粒子(Particle) 一般而言指0.001至1000μm之粒徑的固體或液體之物質(zhì)
4.無塵室管理規(guī)范程序
4.1無塵室潔凈度等級區(qū)分及區(qū)域定義
4.1.1面板制造
A區(qū)(Class 1000級)：面板無塵室(液晶注入、壓合封口室)。
B區(qū)(Class 10 000級)：其余面板制造區(qū)域。
4.1.2 模組制造
C區(qū)(Class 1000級)： COG、貼片、組立室。
D區(qū)(Class 10 000級)：其余模組制造區(qū)域
4.2無塵衣/鞋/帽穿著使用規(guī)定
4.2.1區(qū)無塵衣穿著規(guī)定
A、B、C、D區(qū)：
1.進(jìn)入或在此區(qū)內(nèi)工作的人員，均須穿著Class 100級連身式無塵衣、長統(tǒng)式無塵鞋、戴網(wǎng)帽、口罩及手套。
2.來賓則穿著Class 100級來賓專用黃色無塵衣、長統(tǒng)式無塵鞋、戴網(wǎng)帽、口罩及手套。
4.2.2無塵衣?lián)Q洗規(guī)定
面板后段、模組：面板注壓站、LC液晶調(diào)配人員、清洗人員無塵衣須每周清洗一次，模組COG站、貼片站、組立站無塵衣須每周清洗一次，其他站組兩周清洗一次。
4.2.3無塵衣之破損與縫補(bǔ)
無塵衣若有破損、拉煉損壞、松緊帶松弛、魔術(shù)粘掉落….等情況發(fā)生時(shí)，該件即應(yīng)立即停止使
用，若可修補(bǔ)者應(yīng)將其置于待修補(bǔ)區(qū)，若已達(dá)無法修補(bǔ)者則應(yīng)將其報(bào)廢，領(lǐng)用新品使用。
4.2.4無塵衣識別系統(tǒng)
無塵衣及鞋只有編號, 然后依領(lǐng)取名單紀(jì)錄識別
4.3無塵室進(jìn)入資格之取得
4.3.1 一般員工：凡經(jīng)常于無塵室內(nèi)工作或不定期會進(jìn)入無塵室者，均應(yīng)先上過『無塵室管理規(guī)范』或其它相關(guān)課程，并通過考試合格后，才具無塵室進(jìn)出資格，考試合格人員由模組制造部造冊列管，然后才可向制造部領(lǐng)取無塵衣等相關(guān)物品。
4.3.2 高階主管：熟知并了解無塵室管理規(guī)范及其它各項(xiàng)相關(guān)規(guī)定后，即具無塵室進(jìn)出資格。
(高階主管定義：經(jīng)(副)理以上人員)
4.3.3 來賓(廠商)：應(yīng)由接待部門具無塵室出入資格者，在相關(guān)人員全程陪同下才能進(jìn)入無塵室。
4.3.4無塵室進(jìn)入資格取得之流程：
4.4無塵室進(jìn)入資格之取消
若有下列情況發(fā)生時(shí)則取消其無塵室進(jìn)入資格：
¬人員離職時(shí)或留職停薪期間超過3個(gè)月者。
違反無塵室管理規(guī)范或其它各項(xiàng)相關(guān)規(guī)定情節(jié)重大者。
®無塵室管理規(guī)范或其它各項(xiàng)相關(guān)規(guī)定有大幅度之修改，而需取得重新認(rèn)證時(shí)。
4.5無塵室資格考試
考前準(zhǔn)備：考試前應(yīng)由制造部統(tǒng)一講授 -- 無塵室管理規(guī)范及其它各項(xiàng)相關(guān)規(guī)定。
測驗(yàn)卷：共有A、B、C、D共4份測驗(yàn)卷，每份均為15題選擇題及10題是非題，每題4分，
采不倒扣方式計(jì)分。
考試時(shí)間：10分鐘。
及格分?jǐn)?shù)：80分。
補(bǔ)考規(guī)定：第一次測驗(yàn)不合格者，得經(jīng)再上課后補(bǔ)考一次，若仍不合格者即無法取得無塵室工作
資格。
定期考核：于每年1月份作教育訓(xùn)練及測驗(yàn)。
4.6無塵室進(jìn)出管制規(guī)定
4.6.1人員之限制
(1)公司員工：a.因職務(wù)之需要必須進(jìn)入無塵室內(nèi)工作者，須先上過『無塵室管理規(guī)范』及其
它無塵室相關(guān)規(guī)定之課程，并通過考試及格后，才可進(jìn)入無塵室。
b.針對于面板及模組制造課，因產(chǎn)能急需而臨時(shí)新增之人員，需由該負(fù)責(zé)站組組長先口頭講解；且該臨時(shí)新增之契約工須于1個(gè)月內(nèi)，完成無塵室相關(guān)規(guī)定之課程，并通過考試及格。
(2) 非公司員工：為維持無塵室潔凈度之要求及避免生產(chǎn)作業(yè)受到不必要之干擾，以確保產(chǎn)品
之品質(zhì)，除下列情況外，均謝絕進(jìn)入無塵室參觀：
¬督導(dǎo)單位長官或評鑒/稽核人員視察。
重要客戶或供貨商了解現(xiàn)場作業(yè)情況。
®儀器/設(shè)備之維修工程師或外包施工廠商。
¯本公司聘雇之顧問或?qū)＜摇?/span>
(3) 非公司員工進(jìn)入無塵室時(shí)，必須有接待或相關(guān)部門人員全程陪同。
(4) 來賓進(jìn)入無塵室之申請程序：來賓須進(jìn)入無塵室時(shí)，應(yīng)由接待或相關(guān)部門人員向制造部主
管提出申請，取得核準(zhǔn)后始可進(jìn)入無塵室。
(5) 進(jìn)入無塵室均須刷卡進(jìn)入。
4.6.2 物品之限制
(1) 非生產(chǎn)或工作所需之物品一律禁止攜入無塵室。
(2) 紙類物品(非無塵紙)禁止攜入無塵室，若必須攜入時(shí)則須護(hù)貝或加塑料護(hù)套。
(3) 下列物品一律禁止攜入無塵室：
¬鉛筆、橡皮擦、修正液(修正帶)等易發(fā)塵或揮發(fā)之文具。
普通紙類、紙箱、普通筆記簿、紙制活頁夾等。
®木制物品且表面無聚乙稀等物質(zhì)包覆者。
¯鐵制物品且未作防銹處理而有生銹之虞者。
°臟污或外表生銹之物品。
±保麗龍類物品。
²其它易污染環(huán)境或制造particle之物品。
(4) 物品攜入無塵室前，必須先擦拭干凈，才可帶入無塵室。
4.7進(jìn)入無塵室之程序
4.7.1人員進(jìn)入無塵室(CR)之流程：
4.7.2物品進(jìn)入無塵室之流程：
4.7.3儀器設(shè)備進(jìn)入無塵室之流程：
4.8無塵衣穿著程序
4.8.1連身式無塵衣穿著程序：
4.9無塵衣穿著步驟
4.9.1 連身式無塵衣穿著步驟
(1) 戴上手套
|
(2) 戴上網(wǎng)帽、口罩
(3) 先確認(rèn)衣服正面朝前并穿上雙袖
(4)套在頭上，露出臉部
(5)將頭部魔鬼粘扣上
(6)并扣上頸部魔鬼粘
(7)穿上褲腳
(8)將胯下拉煉由一端拉至另一端(拉煉開口不可露出，必須被長統(tǒng)無塵鞋蓋住)
(9)穿上無塵鞋
4.10無塵衣穿著注意事項(xiàng)
(1) 換下之拖鞋請整齊置于指定處所。
(2) 清洗干凈且包裝好之無塵衣/鞋/帽等，請放置于個(gè)人衣柜內(nèi)。
(3) 使用中之無塵衣，應(yīng)整齊吊掛于Clean Booth(HEPA)之衣架上，以維持高潔凈度。
(4) 換穿無塵衣過程中，應(yīng)盡量避免無塵衣接觸地面。
(5) 戴網(wǎng)帽時(shí)應(yīng)盡量將頭發(fā)都包覆在內(nèi)，勿使其外露。
(6) 無塵衣拉煉均應(yīng)拉到底；扣子應(yīng)扣好；魔術(shù)粘亦應(yīng)粘妥。
(7) 無塵衣穿著應(yīng)松緊適中，不可過松或太緊(可利用腰帶來調(diào)整松緊度)。
(8) 無塵衣若有破損時(shí)，不可繼續(xù)穿著，應(yīng)修補(bǔ)后才可使用(若不堪修補(bǔ)時(shí)應(yīng)報(bào)廢更換新品)。
(9) 穿無塵鞋時(shí)，應(yīng)穿著襪子以維持個(gè)人衛(wèi)生。
(10) 穿無塵鞋時(shí)應(yīng)全腳穿入，不可踩住鞋后跟。
(11) 穿上無塵衣后，便服褲腳不可外露應(yīng)包覆在無塵衣內(nèi)。
(12) 口罩應(yīng)遮住口、鼻不使其外露。
(13) 手套應(yīng)完全塞入無塵衣之袖口內(nèi)。
(14) 穿著無塵衣或戴口罩、手套時(shí)，不可邊走邊穿戴。
(15) 不可隨意穿著他人之無塵衣、鞋。
(16) 無塵室內(nèi)不可打瞌睡。
(17) 原則上網(wǎng)帽、口罩、手套之更換頻率如下：
網(wǎng)帽每周更換一次，若臟污或破損時(shí)則立即更換。
口罩每2天更換一次，若臟污或破損時(shí)則立即更換。
手套每次進(jìn)出更換一次，若臟污或破損時(shí)則立即更換。
4.11無塵衣穿著檢查要項(xiàng)
穿好無塵衣進(jìn)入Air Shower前，應(yīng)于鏡子前檢查下列各項(xiàng)：
(1) 頭發(fā)、網(wǎng)帽不可外露。
(2) 口、鼻不可外露。
(3) 褲腳不可外露。
(4) 無塵衣、鞋不可破損或臟污。
(5) 無塵衣、鞋之拉煉、扣子、魔術(shù)粘等，應(yīng)拉好不可松脫。
(6) 手套端緣不可外露。
4.12無塵室一般禁止及注意事項(xiàng)
(1) 未取得無塵室進(jìn)入資格者，不得進(jìn)入無塵室。
(2) 嚴(yán)禁裸手接觸產(chǎn)品。
(3) 嚴(yán)禁坐臥桌面、腳踏板、地板、垃圾桶、護(hù)欄，以及斜靠機(jī)臺或儲存柜。
(4) 應(yīng)隨時(shí)注意各項(xiàng)公告及標(biāo)語。
(5) 應(yīng)主動相互支持，但不可單獨(dú)操作未認(rèn)證合格之機(jī)臺。
(6) 大家應(yīng)隨時(shí)取締、糾正不合規(guī)定之人員、物品、標(biāo)示等，并通知相關(guān)主管。
(7) 應(yīng)隨時(shí)注意頭發(fā)、口、鼻不可外露。
(8) 不可將無塵衣、帽等隨意置于地板上。
(9) 只能在更衣室內(nèi)穿、脫無塵衣，不可在其它地方為之。
(10) Air Shower前后兩門不可同時(shí)開起。
(11) 無塵室內(nèi)嚴(yán)禁奔跑、嬉戲、喧嘩、睡覺等。
(12) 無塵室內(nèi)嚴(yán)禁吃東西或喝飲料。
(13) 無塵室內(nèi)應(yīng)避免多人聚集在一起，以免制造particle。
(14) 劇烈運(yùn)動或流汗后，不可立即進(jìn)入無塵室，需待呼吸平穩(wěn)且不再流汗后，方可進(jìn)入。
(15) 抽煙結(jié)束后不可馬上進(jìn)入無塵。
(16) 不可將一般用紙、筆記本、紙箱、衛(wèi)生紙、書籍、鉛筆、修正液、橡皮擦等非無塵用
品攜入無塵室。
(17) 嚴(yán)禁于無塵室內(nèi)磨、銼、鋸，砂紙、磨料….等，亦禁止使用。
(19)無塵室內(nèi)工作人員，應(yīng)保持頭發(fā)、身體之清潔，并經(jīng)常盥洗。
(20)進(jìn)入無塵室的人員禁止使用香水、口紅、發(fā)膠及其它化妝品，若有化妝者應(yīng)先卸妝后
才可進(jìn)入。
(21)原物料進(jìn)入無塵室，需先在外面拆箱并擦拭干凈后才可進(jìn)入無塵室。
(22)不可面對產(chǎn)品、Cassette或機(jī)臺之chamber交談。
(23)即使已戴手套，亦須減少對產(chǎn)品做非必要之碰觸。
(24)無塵室內(nèi)文件、半成品、物品或生產(chǎn)工具，非經(jīng)部門主管允許，不可攜出。
(25)談話時(shí)不可拉下口罩交談。
(26)在無塵室內(nèi)使用電話，宜簡短扼要，勿占線。
(27)無塵室內(nèi)逃生路線，不可有障礙物阻礙逃生。
(28)無塵室內(nèi)產(chǎn)品、化學(xué)品、Cassette、工具、文件、記錄簿……等，應(yīng)放置整齊。
(29)進(jìn)入Air Shower前，雙腳應(yīng)先踏腳踏粘墊，將無塵鞋底之臟污去除。
(30)吹A(chǔ)ir Shower時(shí)應(yīng)站好，不可斜靠在墻面上。
(31)各Air Shower均有規(guī)定人數(shù)，不可超過所規(guī)定人數(shù)，若人數(shù)過多時(shí)應(yīng)分批進(jìn)入。
(32)安全門僅供緊急狀況時(shí)使用，平時(shí)嚴(yán)禁由安全門進(jìn)出。
(33)無塵衣/鞋不可穿出無塵室外，靜電鞋亦不可穿出工廠外之區(qū)域。
(34)無塵室中使用的無塵紙不可臟污，回收在利用的無塵紙背面需加蓋作廢章。
4.13來賓(廠商)進(jìn)入無塵室注意事項(xiàng)
進(jìn)入無塵室前必須先申請，并取得許可，始可由相關(guān)人員陪同進(jìn)入。
(1) 來賓在無塵室內(nèi)活動須全程有相關(guān)人員陪同。
(2) 無塵室內(nèi)不可攝影或拍照。
(3) 不可攜帶違禁品進(jìn)入無塵室。
(4) 來賓進(jìn)入無塵室須穿著來賓專用無塵衣。
(5) 來賓或廠商進(jìn)入無塵室，未經(jīng)允許不可任意操作機(jī)臺。
4.14無塵室安全注意事項(xiàng)
(1) 操作機(jī)臺前，必須先認(rèn)證合格取得操作資格后，才可獨(dú)立操作機(jī)臺。
(2) 特殊作業(yè)請確實(shí)依照操作規(guī)范之相關(guān)規(guī)定。
(3) 油、水、化學(xué)品等液體漏灑于地面(桌面)或機(jī)臺時(shí)，應(yīng)迅速清除以免發(fā)生危險(xiǎn)。
(4) 走道應(yīng)保持暢通，不可有阻礙，以免妨礙逃生信道。
(5) 無塵室內(nèi)不可存放易燃品，如系工作所需則必須有安全防護(hù)措施。
(6) 機(jī)臺或無塵室中之各項(xiàng)安全措施，不可任意關(guān)閉或by-pass，若有損壞應(yīng)迅速修復(fù)。
(7) 工作人員如發(fā)現(xiàn)任何危害安全之行為、物品、狀況等時(shí)，除立即采取必要措施外，亦
應(yīng)盡速向主管報(bào)告。
(8) 工作中應(yīng)時(shí)時(shí)注意各項(xiàng)安全警告標(biāo)語或注意標(biāo)語，并確實(shí)遵守。
(9) 急救箱、滅火器、氧氣筒及其它安全急救消防等裝備，須置于指定位置。
(10) 各類清潔液、有機(jī)溶劑、化學(xué)品等之瓶蓋，于使用后應(yīng)立即蓋緊。
(11) 于無塵室內(nèi)進(jìn)行施工或維修時(shí)，若有登高、動火或其它特殊作業(yè)時(shí)，應(yīng)先向行政管理及模組制造部主管部門取得許可并知會生產(chǎn)線。
(12) 應(yīng)避免單獨(dú)1人于無塵室內(nèi)工作。
(13) 操作雷射等高能光源時(shí)，眼睛不可直視光源，以免發(fā)生危險(xiǎn)。
(14) 應(yīng)每日檢查各項(xiàng)安全護(hù)具、裝備，并保持隨時(shí)可用之狀態(tài)。
4.15無塵室清潔方式
(1) 面板和模組的無塵室清潔則由現(xiàn)場作業(yè)人員負(fù)責(zé)
(2) 范圍包含：潔凈室地板、垃圾桶、Air-shower、更衣室等
--潔凈室地板使用無塵拖把毎天清掃一次，用水擦拭地板，毎周清潔一次
--更衣室、垃圾桶毎天清理一次
-- Air-shower用無塵布沾水擦拭四周和玻璃，毎天清理一次
--毎日例行性的清潔后，需填寫清潔記錄表
--模組制造課領(lǐng)取無塵布，需填寫無塵布領(lǐng)用紀(jì)錄&回收紀(jì)錄表
--無塵室各站組設(shè)定進(jìn)入風(fēng)淋門時(shí)，腳踏之粘無塵鞋墊板必須按時(shí)點(diǎn)檢且記錄於《粘無塵鞋墊板清潔點(diǎn)檢表》中
5. 使用窗體
FSQS-755/0017/C4/14/01A 來賓入無塵室申請單
FSQS-755/0017/C4/14/02A 無塵室工作人員管理名冊
FSQS-755/0017/C4/14/03A 無塵室清潔記錄表
FSQS-755/0017/C4/14/04A 無塵布領(lǐng)用&回收紀(jì)錄表 FSQS-755/0017/C4/14/05A 無塵衣/鞋申領(lǐng)單FSQS-755/0017/C4/14/06A 粘無塵鞋墊板清潔點(diǎn)檢表
6. 變更記錄
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版本 |
日期 |
變更頁碼 |
變更內(nèi)容 |
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A1 |
2007/01/12 |
6/11 |
新增（4.8.1）Air Shower(10s) |
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A2 |
2007/04/17 |
7/11 |
更新無塵衣穿著規(guī)范圖片 |
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A3 |
2007/07/25 |
10-11/11 |
增加表單《粘無塵鞋墊板清潔點(diǎn)檢表》 |
